본문바로가기

ISVT500 (ISVT)

Mass Flow Controller

TYPE MFC는 Mass Flow Controller의 약자로서 Gas Bottle에서 나오는 GAS를 고객이 원하는 일정한 유량 의 값으로 흐르게 하기 위한 장치입니다. 단위로는 제조회사마다 약간의 차이를 보이지만 일반 적으로 SCCM(Standard Cubic Centimeter per Minutes)을 사용합니다.

ISVT500은 Viton-Seal &Teflon-Seal & Kalrez 을 사용한다.

Features & Benefits

-  ISVT500 Mass Flow Controller 는 일반적으로 산업용을 포함하여 반도체공정에도 사용할 수 있도록 설계되어 있습니다.
-  ISVT500 Mass Flow Controller의 Full Scale Range는 5SCCM 부터 50SLM입니다. 

-  ISVT500 Mass Flow Controller는 Full Scale의 1%에 해당하는 오차를 가지고 있습니다. 

-  ISVT500 Mass Flow Controller는 Warm-up 시간이 거의 필요하지 않는 제품으로 설계되어 있습니다.
-  ISVT500 Mass Flow Controller는 기본적으로 9Pin D-sub Connector를 사용합니다. 

-  ISVT500 Mass Flow Controller는 IMC1300과 같은 MFC Power Supply & Display Unit 과 함께 사용할 수 있습니다.

Dimensions


ISVT500-1.jpg


ISVT500-2.jpg

Specifications


isvt500 600 sp-1.jpg

isvt500 600 sp-2.jpg