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IVC3100

Throttle Valve Controller & Flow Controller

ype IVC3100 Pressure & Flow Controller는 기본적으로 Capacitance Manometer에 Power (±15VDC)를 공급하고 이로부터 Pressure Signal을 받아들여 Display함과 동시에 Throttle Valve 를 연결하고 PID 또는 Self-Tuning 기능을 사용하여 Pressure를 Control 하는 장치이다. 이 중에서 Self-Tuning 기능을 사용하면 Camber 내로 유입되는 Gas의 양, Pump Speed, Valve Position 별 진공 압력 변화, 그리고 기타 다른 중요 한 Parameter 들을 감지하여 Pressure Control Factor들을 습득한다.
User가 이 기능을 사용하여 Pressure Control을 할 경우 원하는 압력에 보다 빨리 도달 할 수 있다. Process Limit Relay가 두 개 내장되어 있어 User의 장비 Process에 도움이 되도록 하였다.

Features & Benefits

IVC3100에는 Option으로 최대 4개의 MFC를 연결할 수 있는 PCB Card가 준비되어 있으며

PCB  1장 당 2Channel (MFC 2개 연결)로 구성 되어 있다.

IVC3100은 아주 편리하고 간단하게 Local(Front Panel), I/O 또는 RS-232 & RS485 로

모든 제어가 가능하게 설계 되어있다.

Dimensions


IVC3100.jpg

IVC3100-1.jpg

Specifications


IVC3100 SP.jpg