1. Frame 1 Set
-Size : 543H36 / 하부 판넬 가공
-Material : AL 다이캐스팅 / EGI 판금
-NO 3.6PB 2.3/0.2
2.Gas Line & Accessory 1 Set
-DI Valve : 1/4“, 3ea / Sw Manual
-In Line Filter & Check Valve
-Cost Fabrication
3. Mass Flow Controller MKS 1179
- MFC (1000SCCM / 1/4VCR 1EA) GAS : ?
- MFC ( 1000SCCM / 1/4VCR 1EA) GAS : ?
- MFC ( 1000SCCM / 1/4VCR 1EA) GAS : ?
- IMC1300-MMOO-O-I  / RS232C PORT / 3채널 PORT 구성
- MFC Cable
4. 오토웰딩 및 EP 처리


* 자동 및 수동으로 밸브 ON / OFF 가능 하며 쉽게 라인 구성이 가능 하다.