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Temp Contrroller System
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IV-MCB BOX Unit ( 4Channel MFC Controller & CM Display)
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OD 61 / TORR SEAL 제작 가공
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IMC1300-MMOO-O-I 4Channel / 3MFC & 1CHANNEL BARATRON GAUGE DISPLAY 제작
IMC1300-MMOO-O-I 4Channel / 3MFC & 1CHANNEL BARATRON GAUGE DISPLAY 제작MFC 3EA / AR 500SCCM / H2 1000SCCM / CH4 100SCCM / VENT 20SLMCM MKS 626A12TBE 100TORRDI Valve : 1/4“ VCR하부 판넬 가공 / Material : AL 다이캐스팅 / EGI 판금 / NO 3.6PB 2.3/0.2XMFC BLOCK 3EA / ETC...
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Opener Chamber 및 배관 주문 제작
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CANISTER 제작
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Opener Chamber 주문 제작 가공
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Temp Contrroller System
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IV-MCB BOX Unit ( 4채널 MFC 컨트롤 박스) 3SET 제작
1. Frame 1 Set2.Gas Line & Accessory 1 Set-DI Valve : 1/4“, 4ea / Sw Manual-In Line Filter 4ea & Check Valve 4ea-Gas Mix Tube-Cost Fabrication3. Mass Flow Controller - MFC MFC 4EA- IMC1300-MMOO-O-I / RS232C PORT / 4채널 PORT 구성- MFC Cable- 30CM 4EA
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IV-PCB BOX Unit ( 1채널 PID 컨트롤 박스 100PSI 압력제어) 제작
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IV-MCB BOX Unit ( 3채널 MFC 컨트롤 박스) 제작
IMC1300-MMOO-O-I 3ChannelMFC 3EA / AR 2000SCCM / 1/4VCR / NF3 500SCCM / 1/4VCR / O2 500SCCM / 1/4VCRDI Valve : 1/4“ VCR EP하부 판넬 가공 / Material : AL 다이캐스팅 / EGI 판금 / NO 3.6PB 2.3/0.2XMFC BLOCKLINE SUS316 BELLOWS 1/4" 1/4VCR
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Temp Contrroller System
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CANISTER 제작